如果氣體流量一直很大而不能調小，可以認為是氣路控制系統的一種故障。產生此類故障的原因有三種：
第一、是流量計后氣路有泄漏；
第二、是氣路氣阻太小；
第三、是流量控制閥件損壞。
其檢查方法如下：首先堵住檢測器的氣路出口，觀察流量計中的轉子是否可下降到零位。如不能降為零，需要考慮對漏氣處進行檢查，具體方法見氣路泄漏的檢查與排除；如轉子可降到零位說明系統不漏氣。
此時應觀察一下流量調節閥轉動時，流量是否有較大的變動，若有變動可適當增加氣路氣阻；若無變動則應懷疑閥件本身有問題，按照閥件的清洗部分處理。
處理后的閥件應再裝回原氣路中進行控制試驗。
